第390章 历史性时刻
“人员都已经到齐了，可以随时开始测试。”光电技术研究所徐昀身穿着专门的研究服，安排妥当后向身旁科学院院长侯盛昌汇报。 同样穿着研究服的侯盛昌，闻言立刻抬手道：“你是项目负责人，按照自己的安排进行即可，我这次过来主要是旁观。”说话的语气很是柔和，丝毫没有要喧宾夺主进行指挥的意思。 当初他看中徐昀的实力，亲自前往京州大学邀请其负责光刻机项目。 到今天不过才一年多的时间。 但收获却甚是巨大。 徐昀带领光电技术研究所项目团队，成功制造出了国内首台极紫外光刻机。 具备深远意义。 可以说是让国产半导体领域迈入了新的里程碑。 得知首台极紫外光刻机就要进行芯片测试时，他几乎没有任何迟疑，第一时间推掉了后面的行程乘坐飞机从帝都赶到锦城。 作为如此重要的时刻，他这个院长肯定要亲眼见证这伟大的一幕。 徐昀知道侯盛昌的性格，自然不会在这种小事上去想太多，当即嘴角噙着笑容应声回答。 “我明白了院长。” 说完便对工作人员下令道：“开始吧。” 与此同时坚守现场的罗长辉杨靖等人，尽管都穿着专业服装，却难掩心中的兴奋和激动。 他们作为研发光刻机的老人，不知多少次做梦都想看到国产极紫外光刻机，如今这个梦想眼看就要彻底变成能够触摸的现实，想依旧保持内心的平静和沉默，那实在是太难了。 甚至就连侯盛昌的呼吸都急促起来。 不过越是这个时候，大家心底那丝担忧的情绪就越发强烈。 倒不是说不信任自己这么长时间做出来的成果，只是事情没到最后一刻任何事都有可能发生。 确实难以把心彻底放下。 此次测试关乎整台光刻机的性能，只有通过测试才能进行到下一个交付环节，否则便要重新优化调试检查问题所在。 但局面变成这样的话，就不知道中间要消耗多长的调试时间。 肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机，到那个时候半导体领域势必进一步恶化。 这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。 因此随着徐昀正式下达命令后，所有人都全神贯注耐心等待最终结果。 2021年6月5日，这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。 研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光，在这一刻仿佛已经形成了艺术品。 同时其价值也是普通人难以想象的。 不夸张的讲，一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。 而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机，相比阿斯麦成本上要低不少。 这点也算是国产极紫外光刻机的优势。 如果将来相互竞争的话，那么对方将很快失去原有的竞争力。 关于前期的材料准备工作早已经完成，制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片，变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。 想要将晶圆制作成芯片，首先需要准备的是光刻掩膜版。 其作用是将芯片的功能模块电路系统以及物理结构地图绘制在印刷母版上，如此才能开始后面芯片的批量制造生产。 此次测试的芯片正是人工智能实验室和华威技术共同设计的智能汽车芯片。 实验室负责人颜恺明将之命名为灵思。 为7纳米工艺芯片。 这时徐昀侯盛昌罗长辉等人已经来到这台极紫外光刻机主控系统。 能看到晶圆即将进入下一个光刻阶段。 待这台庞大精密半导体设备运行时，徐昀则在旁边向侯盛昌介绍。 “院长。” “这次制造的芯片是一款智能汽车芯片，由深度科技旗下的人工智能实验室和华威技术设计。” “并且还是使用的应龙eda。” 说到最后这件事时，徐昀特意加重了语气。 之前新思楷登这几家海外eda巨头公司宣布限制他们使用软件的时候，侯盛昌就说过不需要担心，已经有公司再开发国产eda软件。 可见他对华威的应龙eda项目是比较了解的。 不过在听到这句话后，他眼神中还是不可避免的闪过了些许意外。 下秒侧过脸问道：“应龙项目已经完成并且实际开始应用了吗？” 显然这件事很是惊讶。 当然这件事也不能怪他，谁会想到华威方面选择大胆尝试借助人工智能模型辅助软件开发后，会使整个开发效率提高这么多。 否则就算首台极紫外光刻机能交付使用，只怕应龙eda还不完善。 对于这件事倒也没有隐瞒的必要，徐昀稍作思考便组织好语言解释。 “是的院长。” “早在年前应龙eda项目就已经完成。” “那么快？”侯盛昌惊呼。 徐昀微笑着解答：“这是因为他们借助了人工智能模型笨笨的辅助。” “原来如此。”侯盛昌闻言立刻想明白了中间情况。 眼下根据笨笨复制来的人工智能深海，已经逐步运用到各种领域上，并且发挥出了远超人类的能力，辅助软件开发自然不算什么。 这点侯盛昌还是有一定认知的。 “太好了。” “如此我们的芯片制造产业链就能完全解决，今后不再有什么掣肘了。” 随即他想到这个情况带来的作用，脸上的笑容顿时又盛了几分。 周围其他人虽没开口发言，但从神情来看心情也都算不错。 尽管到现在测试才算刚刚开始，可看到徐昀这波澜不惊信心十足的状态，倒是让他们都平复了许多。 进行光刻前晶圆一般要通过高温加热方式其表面产生氧化膜，作为光导纤维便于后续的光刻流程，这也就是所谓的覆膜。 晶圆完成这项流程后，接下来便是涂抹光刻胶。 值得一提的是，这可不是霓虹那边公司生产出来的高端光刻胶。 而是来源自徐昀碰巧合成的全新光刻胶，检测表现出来的数据远远超过对方。 关键成本方面更加低廉。 不过由于先前国内并不具有高端光刻机，所以一直没有办法实际测试。 今天总算能代替其真正价值。 只要表现的足够稳定，那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。 对此侯盛昌则最为高兴，想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱，便让人心情舒爽。 要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节，是必须要攻克的存在。 以往国内没有高端光刻机，也就未朝高端光刻胶领域过多发展。 进行研究的皆以低端光刻胶为主。 根本无法使用在光刻机上。 幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶，否则空有光刻机没有高端光刻胶，照样无法完成今天的测试。 哪怕成功交付，也解决不了半导体领域问题。 毕竟就算立刻投入大量精力去研究，也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。 “这次可要感谢徐教授的光刻胶啊，要不然今天的测试就只能进行到这步了。” 或许是侯盛昌心情不错，这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。 再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。 说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度，他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。 这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。” 徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。 当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。” 他这话自然不是谦虚。 这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。 比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。 如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。 这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。 基本晶圆厂绝对不会冒险。 否则所造成的损失将直接影响到利润。 侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。 随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。 将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。 后面则需要溶解光刻胶。 使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。 清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。 尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。 虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。 在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。 并丢弃瑕疵芯片。 余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。 把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。 虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。 接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。 如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。 相信解释肯定会引起全球的轰动。 “拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。” 徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。 眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。 “放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。 侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。 可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。 “那好吧。” 随着侯盛昌松口，在徐昀的带领下便一起前往不远处的休息室。 由于其他人还要盯着主控系统记录数据，此刻休息室内除了徐昀和侯盛昌外，只有罗长辉院士和杨靖研究员两个人。 国产极紫外光刻机进展迅速，眼看就能正式交付使用制造芯片。 这使得大家的心情都很不错，连带休息室的氛围都轻松了不少。 “这次可要好好看看海外那些家伙的脸，无论如何他们也不会想到我们的进度会这么快。” “等我们宣布这个消息，相信全球都会动容的。”杨靖这时接过罗长辉的话微笑着补充了句。 身边侯盛昌也是满脸笑容：“这一天的到来确实很值得期待。” “已经不远了。” 心情从来没有像今天这么高兴。 听着众人的谈话，徐昀要说不高兴那绝对是假的。 不过说实话他的心思却不在这上面。 国产极紫外光刻机的研发成功已经是板上钉钉，基本不会出现什么状况。 可以说他是否继续留在锦城都已经无所谓了。 按照他的计划，是等光刻机测试结束后，便立刻返回京州市。 这几个月时间内他虽说经常回京州陪陈诗禾，但总共时间并不算多。 而陈诗禾的预产期是在八月份，剩下的时间里他自然想一直待在陈诗禾身边。 他知道陈诗禾身边有她父母和母亲在，并不会有什么事情，并且陈诗禾也多次让他以项目为主，不过他很清楚陈诗禾内心肯定是希望他在身边的。 就在他思索着这些时，只听坐在中间沙发上的侯盛昌突然又开口提起一件事。 “对了，还有件事要告诉你们。” 此话一出包括徐昀在内罗长辉杨靖都同时抬起视线向侯盛昌看去。 想知道侯盛昌口中的事情是什么。 对此侯盛昌倒也没有卖关子，当即便沉声讲起来。 “阿斯麦公司的首席技术执行官托尼诺教授，要来我们科学院交流光刻机研发技术，这件事院里已经同意并把交流地点订在你们所。” “阿斯麦的首席技术执行官？” “要和我们交流学习？” 几乎是侯盛昌的话音刚落，旁边的杨靖便有些控制不住情绪下意识喊了两句。 脑海中更是浮现出大量问号。 主要以往阿斯麦作为全球最顶尖光刻机公司，就算想购买他们高端光刻机都不可能，更不要说什么交流学习研发技术了。 对此感到诧异也实属正常。 罗长辉听到这个消息尽管表情有些动容，但很快便恢复正常。 随即讲出自己的判断。 “阿斯麦此举恐怕是令有意图吧，我可不相信他会和我们分享光刻机研发技术。” “你们猜的不错。”侯盛昌对两人点点头表示认可，然后又把目光放到徐昀身上问：“我看你似乎并不意外，有什么想法说说看。” 侯盛昌说的确实没错。 徐昀对于这个消息并没有表现出什么意外之色。 甚至这完全在预料之内。 毕竟他的存在在科学界是非常特殊的，短短几年时间便给很多领域带来了改变，先前更是公开表示要在今年交付首台极紫外光刻机，这种做法肯定会引起阿斯麦公司的担忧。 哪怕他们不相信这件事能够成功，心里多少会有些忧虑。 这种情况下主动派人过来接触也正常。 可惜只能说对方打错了主意，眼下国产极紫外光刻机已经研发成功，倒也不怕让对方知道。 念头停留在这里，徐昀当即微笑着说：“对方这时候突然派人来交流学习，无非是想确认我们有没有成功研发出极紫外光刻机。” “既然他们那么想知道，那就干脆满足这个愿望。” “说的不错，院里也正是这个想法。”侯盛昌对徐昀的分析非常满意，脸上堆出的笑容越发灿烂。 接下来徐昀和罗长辉又向侯盛昌多了解了些关于这位首席技术执行官的资料。 得知对方过两天就会到达帝都，然后来到锦城。 面对这种情况，徐昀肯定要等接待完这位技术执行官后再返回京州市。 反正光刻机的测试是个长时间的活，接下来都会处在运行状态制造灵思智能汽车芯片，如此徐昀反倒越发期待这位技术执行官的到来，不知道对方在看到这台能够制造7纳米芯片的极紫外光刻机后，会是一种怎么样的特殊心情。 刚好能够借助阿斯麦这家巨头公司，彻底打开国内半导体领域在全球的地位。 随后不知道过去多久，突然传来的敲门声使得几人精神猛地一震。 几乎没有任何迟疑，立刻便喊道：“进来。” 作为研究员助理的博士后刘星推门进来，手中拿着份没有装订的文件，还算俊朗的脸庞上此刻洋溢着兴奋激动的喜悦。 看到这里没等刘星汇报情况，已经从沙发上站起身的侯盛昌便追问道：“是不是芯片测试有结果了？” “是的院长。” “根据测试数据，这批晶圆出现的芯片瑕疵率在正常范围内。” “并且芯片性能没有任何问题。” 刘星快速讲完这些重要信息，能看到侯盛昌罗长辉杨靖几人总算松了口气…… 感谢扎针好得快的500点币打赏！